[发明专利]薄膜群制造装置、薄膜群、薄膜、紫外线阻隔剂及化妆品有效
申请号: | 201580019377.4 | 申请日: | 2015-01-22 |
公开(公告)号: | CN106164328B | 公开(公告)日: | 2018-10-12 |
发明(设计)人: | 李亨坤 | 申请(专利权)人: | 李亨坤 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C16/44 |
代理公司: | 北京冠和权律师事务所 11399 | 代理人: | 朱健;陈国军 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 本发明提供薄膜群制造装置、制造方法、薄膜群、薄膜、紫外线阻隔剂及化妆品,该薄膜群制造装置在原位(In‑situ)状态下制造薄膜群且具有改善质量和提高生产效率及需要较低的初期投资成本的特征。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 制造 装置 紫外线 阻隔 化妆品 | ||
【主权项】:
1.一种薄膜群制造装置,其用于制造由两层以上的薄膜层层叠且中间有被涂层材料的薄膜群,所述薄膜群制造装置包括:真空容器,提供用于制造所述薄膜群的真空环境的空间;真空膨胀手段,至少能够使所述真空容器的内部处于真空状态;一个以上(多个)涂层源,每个涂层源具有在所述真空容器内在指定表面上涂布一层以上的指定物质的薄膜的功能;供给部,至少将被涂层材料向指定的地方供应;收集部,至少收集被涂层材料;涂布区,是基于一个以上涂层源,在被涂层材料的指定表面上可涂布薄膜的区域;被涂层材料,其至少在指定期间内同时存在于所述供给部、收集部及涂布区中,且至少在供给部和收集部中的厚度、结构、形状、相态、移动形态中的一个以上的状态相互不同;所述被涂层材料通过引导至少能够从供给部移动至收集部,移动中在所述涂布区的所述被涂层材料表面中一部分以上涂布一层以上的薄膜层后,至少包括所述收集部且在指定场所收集的结构,其特征在于,至少在指定时间点所述供给部、涂布区、收集部的排列如果以从所述供给部出发的被涂层材料为基准,则至少是以供给部、涂布区、收集部的顺序移动的排列结构,所述涂布区中涂布成包含涂层源物质且一层以上的薄膜的被涂层材料中至少一部分是由所述供给部供应的被涂层材料,由所述收集部收集的被涂层材料中至少一部分是由所述供给部供应且在所述涂布区中涂布后连同所述薄膜层的一部分以上被收集的被涂层材料,从所述供给部至收集部的路径中的至少一处具有被涂层材料变形区,所述变形区是引起所述被涂层材料的厚度、形状、相态、移动形态中的一个以上发生变化的的区域,所述被涂层材料是在从所述供给部至收集部的路径中的所述变形区中发生1次以上变形后收集的,所述被涂层材料上涂布的薄膜具有在被涂层材料的表面上涂布的最大长度是薄膜层厚度的两倍以上的状态,由所述供给部向涂布区供应的被涂层材料的至少一部分不经过以蒸汽状态蒸镀的过程,通过向维持所述被涂层材料物质的流动性且具有指定范围粘度的状态移动,从而在原位状态下供应,所述薄膜层的厚度是0.1纳米以上50微米以下,所述收集部收集的被涂层材料中的至少一部分也不经过以蒸汽状态蒸镀的过程,不需要加入溶液,以具有维持所述被涂层材料物质的流动性且具有指定范围粘度的状态移动,从而在原位状态收集,所述被涂层材料包括流体、常温流体、可塑性物质中选择的一种以上的物质,在摄氏25度中饱和蒸气压为100托以下的同时熔点是摄氏度650度以下,所述薄膜层涂布在被涂层材料表面后通过引导至少向收集部移动,汇集在所述收集部的收集结果物至少包括所述被涂层材料和所述薄膜层,至少在指定时间点,所述薄膜层以两层以上的形状层叠且中间有被涂层材料。
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