[发明专利]滑动部件

摘要

形成高精度的滑动面(S)，在该滑动面(S)上不会附着与形成于滑动面(S)上的正压产生槽(11a)和负压产生槽(15a)的加工相伴随的飞散物质等，并平坦地形成在滑动面(S)上形成的正压产生槽(11a)和负压产生槽(15a)的底面。其特征在于，包括以下工序准备一对滑动部件(3、5)的至少一侧的滑动部件(3、5)的工序；以及向滑动部件(3、5)的滑动面(S)的形成正压产生槽(11a)、负压产生槽(15a)的部分照射超短脉冲激光而去除滑动面(S)的表面的一部分，由此在滑动面(S)上形成深度为0.05μm～5μm的范围的浅槽(11a、15a)的加工工序，在加工工序中使用的超短脉冲激光的能注量为0.5J/(cm2.脉冲)～7J/(cm2.脉冲)。

主权项

一种滑动部件，其特征在于，在一对滑动部件的彼此相对滑动的一侧的滑动面上设置有流体循环槽，所述流体循环槽由从高压流体侧进入的入口部、向高压流体侧排出的出口部、以及将所述入口部和所述出口部连通的连通部构成，所述流体循环槽借助于台面部与低压流体侧隔离开，在被所述流体循环槽和高压流体侧围着的部分处设置有正压产生机构，所述正压产生机构具有比所述流体循环槽浅的正压产生槽，所述正压产生槽与所述入口部连通，并借助于台面部与所述出口部及所述高压流体侧隔离开，所述正压产生槽是通过超短脉冲激光的照射而形成的，且是深度为0.05μm～5μm的范围的浅槽，所述正压产生槽的底面的粗糙度Ra为加工深度的1/10以下，加工部的边缘的由碎片产生的隆起小于0.01μm。