[发明专利]研磨装置及研磨方法

摘要

本发明涉及一种研磨晶圆等基板的研磨装置及研磨方法，特别涉及一种用研磨带研磨晶圆的边缘部的研磨装置及研磨方法。本发明的研磨装置，具备：基板保持部(1)，保持并旋转基板(W)；以及研磨单元(7)，用研磨带(5)来研磨基板(W)的边缘部。研磨单元(7)具有：圆盘头(12)，具有支撑研磨带(5)的外周面；以及头移动装置(50)，使圆盘头(12)移动至基板(W)的切线方向，使圆盘头(12)的外周面上的研磨带(5)接触基板(W)的边缘部。

主权项

1.一种研磨装置，其特征在于，具备：基板保持部，保持并旋转基板；以及研磨单元，用研磨带来研磨所述基板的边缘部，所述研磨单元具有：圆盘头，具有支撑所述研磨带的外周面；头移动装置，在所述基板的研磨中，使所述圆盘头在所述基板的切线方向移动，使所述圆盘头的外周面上的所述研磨带接触所述基板的边缘部；以及进料辊，将所述研磨带抵压于所述圆盘头的外周面，使所述研磨带沿着所述外周面弯曲，所述进料辊配置成所述研磨带被夹在所述进料辊与所述圆盘头的外周面之间，从所述基板上来看时，所述圆盘头位于所述基板的切线上，所述圆盘头的轴心与所述基板的表面平行，且相对于所述切线方向垂直，且相对于所述圆盘头的移动方向垂直。