[发明专利]生成用于确定针对前侧图案化的调节的背侧衬底纹理图的系统和方法在审
| 申请号： | 201580005769.5 | 申请日： | 2015-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN105934812A | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 安东·J·德维利耶;托德·A·马修斯;罗德尼·李·罗宾森 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/027 | 分类号： | H01L21/027;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 朱胜;李春晖 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本文所公开的技术提供了用于针对衬底的背侧生成纹理图的系统和方法。所述纹理图可以用于确定针对衬底的前侧的后续工艺的工艺调节(例如，焦点深度)。 | ||
| 搜索关键词： | 生成 用于 确定 针对 图案 调节 衬底 纹理 系统 方法 | ||
【主权项】：
一种纹理绘制系统，包括：衬底卡盘，所述衬底卡盘能够绕轴来旋转衬底，所述衬底包括与背侧表面相反的图案化前侧表面；轮廓传感器，所述轮廓传感器能够跨所述衬底的所述背侧表面移动，并且所述轮廓传感器能够至少部分地基于所述衬底的所述背侧表面上的表面粗糙度来生成轮廓信号；位置控制器，所述位置控制器能够至少部分地基于所述轮廓传感器相对于所述衬底的位置来生成位置信号；以及纹理绘制部件，所述纹理绘制部件能够至少部分地基于所述轮廓信号和所述位置信号来生成所述衬底的背侧的纹理图，所述纹理图包括对所述衬底的所述背侧的位置处的表面粗糙度的指示。
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H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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