[发明专利]溅射靶用靶材的制造方法以及爪部件在审
| 申请号： | 201580004891.0 | 申请日： | 2015-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN105917022A | 公开（公告）日： | 2016-08-31 |
| 发明（设计）人： | 柴尾正则;寺村享祐;武内朋哉 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;B24B5/22;C04B35/00;C04B35/453;C04B41/91;H01L21/28;H01L21/285 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人： | 黄志华;石磊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及的溅射靶用靶材的制造方法包括：在全长为500mm以上的筒状陶瓷的中空部中，将三个以上的支承爪插入至该筒状陶瓷的全长的10％以上的深度的工序；使三个以上的支承爪分别与筒状陶瓷的内周面抵接，来支承筒状陶瓷的工序；以及使由三个以上的支承爪支承的筒状陶瓷沿筒状陶瓷的周向旋转，来加工筒状陶瓷的外周面的工序。三个以上的支承爪由硬质橡胶包覆。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 靶用靶材 制造 方法 以及 部件 | ||
【主权项】：
一种溅射靶用靶材的制造方法，其特征在于，包括：在全长为500mm以上的筒状陶瓷的中空部中，将三个以上的由硬质橡胶包覆的支承爪插入至所述筒状陶瓷的全长的10％以上的深度的工序；使所述三个以上的支承爪分别与所述筒状陶瓷的内周面抵接，来支承所述筒状陶瓷的工序；以及使由所述三个以上的支承爪支承的所述筒状陶瓷沿所述筒状陶瓷的周向旋转，来加工所述筒状陶瓷的外周面的工序。
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