[发明专利]用于微机电系统光子开关的设备及方法在审
| 申请号： | 201580001727.4 | 申请日： | 2015-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN105829937A | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 阿兰·弗兰克·格拉维斯 | 申请（专利权）人： | 华为技术有限公司 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35 |
| 代理公司： | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人： | 马爽;臧建明 |
| 地址： | 518129 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 在一个实施例中，微机电系统(MEMS)反射镜结构包括：电极板，其包括第一偏转电极和第二偏转电极，其中所述第二偏转电极与所述第一偏转电极相对，所述第一偏转电极设置成接收第一驱动电压，所述第二偏转电极设置成接收第二驱动电压。所述MEMS反射镜结构还包括：反射镜支撑柱，其设置在所述电极板上，所述反射镜支撑柱具有轴承表面；和反射镜，其设置在所述支撑柱的轴承表面上，所述反射镜具有偏转角，并且所述偏转角为零时所述第一电压非零。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 微机 系统 光子 开关 设备 方法 | ||
【主权项】：
一种微机电系统(MEMS)反射镜结构，包括：电极板，其包括第一偏转电极和第二偏转电极，其中所述第二偏转电极与所述第一偏转电极相对，所述第一偏转电极设置成接收第一驱动电压，并且所述第二偏转电极设置成接收第二驱动电压；反射镜支撑柱，其设置在所述电极板上，其中所述反射镜支撑柱具有轴承表面；以及反射镜，其设置在所述支撑柱的轴承表面上，其中所述反射镜具有偏转角，并且所述偏转角为零时所述第一电压非零。
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