[实用新型]一种用于硅片插片机的供料槽有效
| 申请号： | 201521138610.4 | 申请日： | 2015-12-31 |
| 公开（公告）号： | CN205294258U | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 邱文良 | 申请（专利权）人： | 苏州博阳能源设备有限公司 |
| 主分类号： | B65G51/01 | 分类号： | B65G51/01;H01L31/18 |
| 代理公司： | 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 | 代理人： | 王华 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种用于硅片插片机的供料槽，包括供料槽槽体和水泵，所述供料槽槽体设有溢流口，该溢流口通过管路与一储液槽连通；所述供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台，该承托平台与一上下移动驱动装置的驱动部传动连接；所述供料槽槽体上设有液压传感器，该液压传感器与一计算机数控系统信号连接，所述计算机数控系统与所述水泵电连接；所述供料槽槽体内容纳有液体，液体的深度总是大于堆垛的硅片的高度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 硅片 插片机 供料 | ||
【主权项】：
一种用于硅片插片机的供料槽，其特征在于：包括供料槽槽体和水泵，所述供料槽槽体设有溢流口，该溢流口通过管路与一储液槽连通；所述供料槽槽体内设有用以盛放堆垛硅片的承托平台，该承托平台与一上下移动驱动装置的驱动部传动连接；所述供料槽槽体上设有液压传感器，该液压传感器与一计算机数控系统信号连接，所述计算机数控系统与所述水泵电连接；所述供料槽槽体内容纳有液体，液体的深度总是大于堆垛硅片的高度。
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