[实用新型]一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置有效
申请号: | 201521119784.6 | 申请日: | 2015-12-30 |
公开(公告)号: | CN205275776U | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 龚世均 | 申请(专利权)人: | 成都东骏激光股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B28/10 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 钱成岑;易小艺 |
地址: | 610000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本实用新型属于晶体生长技术领域,尤其涉及一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置,包括晶体生长炉的称重头、滑块和籽晶杆,其特征在于:所述装置包括活动球头结构、支撑盘结构和连接结构,活动球头结构位于籽晶杆上端,将称重头和籽晶杆连接;支撑盘结构设于滑块内,位于籽晶杆中下端;连接结构位于籽晶杆下端,设有籽晶杆接头和提拉杆接头,籽晶杆接头安装在籽晶杆上,籽晶杆接头下端与提拉杆接头相连接。本实用新型在上称重提拉法晶体生长炉上使用后,籽晶杆晃动和籽晶杆下端点画圈得到了明显的改善和消除,保障了晶体生长的正常进行,且减轻了维护强度,大大降低了生长成本。 | ||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 籽晶 系统 多点 活动 连接 稳固 装置 | ||
【主权项】:
一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置,包括晶体生长炉的称重头、滑块和籽晶杆,其特征在于:所述装置包括活动球头结构、支撑盘结构和连接结构,活动球头结构位于籽晶杆上端,将称重头和籽晶杆连接;支撑盘结构设于滑块内,位于籽晶杆中下端;连接结构位于籽晶杆下端,设有籽晶杆接头和提拉杆接头,籽晶杆接头安装在籽晶杆上,籽晶杆接头下端与提拉杆接头相连接。
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