[实用新型]一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置有效
申请号: | 201521119784.6 | 申请日: | 2015-12-30 |
公开(公告)号: | CN205275776U | 公开(公告)日: | 2016-06-01 |
发明(设计)人: | 龚世均 | 申请(专利权)人: | 成都东骏激光股份有限公司 |
主分类号: | C30B15/32 | 分类号: | C30B15/32;C30B28/10 |
代理公司: | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人: | 钱成岑;易小艺 |
地址: | 610000 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 晶体生长 籽晶 系统 多点 活动 连接 稳固 装置 | ||
1.一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置,包括晶体生长炉的称重头、滑块和籽晶杆,其特征在于:所述装置包括活动球头结构、支撑盘结构和连接结构,活动球头结构位于籽晶杆上端,将称重头和籽晶杆连接;支撑盘结构设于滑块内,位于籽晶杆中下端;连接结构位于籽晶杆下端,设有籽晶杆接头和提拉杆接头,籽晶杆接头安装在籽晶杆上,籽晶杆接头下端与提拉杆接头相连接。
2.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置,其特征在于:所述支撑盘结构由静止座和活动盘组成,静止座固定安装在滑块内,活动盘安装在静止座上,所述活动盘设有定盘和动盘,动盘安装在籽晶杆上,定盘安装在静止座上,动盘在定盘内旋转。
3.根据权利要求2所述的一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置,其特征在于:所述定盘设有凹槽,动盘在定盘的凹槽内旋转。
4.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置,其特征在于:所述活动球头结构设有球面连接上接头、球面连接头、球面连接球体和螺钉,球面连接上接头与球面连接头上端固定连接,球面连接头中为中空,球面连接球体位于球面连接头中,螺钉穿过球面连接头固定在球面连接球体上,将球面连接头与球面连接球体固定连接,球面连接上接头连接称重头,球面连接球体连接籽晶杆。
5.根据权利要求4所述的一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置,其特征在于:所述螺钉穿过球面连接头侧面固定在球面连接球体上。
6.根据权利要求1所述的一种晶体生长炉籽晶杆系统的多点可活动连接与稳固装置,其特征在于:所述提拉杆接头设于炉膛顶部中。
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