[实用新型]一种光纤用高纯四氯化硅的集中分配系统

摘要

本实用新型涉及一种光纤用高纯四氯化硅的集中分配系统，包括第一主管道、第二主管道以及三通阀V1～V10；所述第一主管道的顶端安装有一三通阀V1，底端通过一二通阀V6和第二主管道对接；所述第一主管道上还连接有三通阀V2、三通阀V3、三通阀V4和三通阀V5；所述第二主管道上连接有三通阀V7、三通阀V8和三通阀V9；所述三通阀V1～V10上分别连接有两根管道。本实用新型方便地实现了吹扫、检测、吹净等操作的阀门切换综合控制，让四氯化硅产品在全密封的管道中流动输送，避免了与空气的接触反应变质和输送后管道、阀门的清洁，彻底解决了传统取样瓶取样方式造成的二次污染、偏差和废料污染等问题。

主权项

一种光纤用高纯四氯化硅的集中分配系统，其特征在于：包括第一主管道、第二主管道以及三通阀V10；其中，所述第一主管道的顶端安装有一三通阀V1，底端通过一二通阀V6和第二主管道对接；所述三通阀V1上连接有一高纯氮气管道N1和一普通氮气管道N2；所述第一主管道上还连接有三通阀V2、三通阀V3、三通阀V4和三通阀V5；所述三通阀V2上连接有生产线检测管道TI和生产线检测管道T2；所述三通阀V3上连接有生产线检测管道T3和生产线检测管道T4；所述三通阀V4连接有储罐管道P1和储罐管道P2；所述三通阀V5连接有储罐管道P3和储罐管道P4；所述第二主管道上连接有三通阀V7、三通阀V8和三通阀V9；所述三通阀V7上连接有原料检测管R1和原料检测管R2；所述三通阀V8上连接有原料检测管R3和原料检测管R4；所述三通阀V9上连接有红外在线分析检测入口管道F1和红外在线分析检测入口管道F3；所述三通阀V10上分别连接有红外在线分析检测出口管道F2、红外在线分析检测出口管道F4以及废液收集管W。