[实用新型]一种消影导电玻璃有效

专利信息
申请号: 201521092793.0 申请日: 2015-12-25
公开(公告)号: CN205241512U 公开(公告)日: 2016-05-18
发明(设计)人: 李刚;蒋继文;金克武;曹欣;张宽翔;杨勇;姚婷婷;王芸;徐根保 申请(专利权)人: 蚌埠玻璃工业设计研究院
主分类号: C03C17/34 分类号: C03C17/34
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 代理人: 杨晋弘
地址: 233010 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开一种消影导电玻璃,包括玻璃基板,玻璃基板上依次设有SiO2膜层、ITO膜层与高折射率膜层,所述高折射率膜层为Nb2O5膜层或TiO2膜层;采用Nb2O5膜层或TiO2膜层作为高折射率膜层,在满足ITO方阻值的同时消除蚀刻阴影,保证显示效果;由于采用氧化物膜层,在沉积时只需要通入氧气这一种反应气体,更换靶材就可以实现不同膜层的沉积,在一个腔室里就能够完成,无需增加额外溅射腔室,减少生产设备的投入降低成本;另外,对不同膜层可以连续沉积,不需要经过抽放气环节,降低工艺难度,提高了生产效率。
搜索关键词: 一种 导电 玻璃
【主权项】:
一种消影导电玻璃,包括玻璃基板,玻璃基板上依次设有SiO2膜层、ITO膜层与高折射率膜层,其特征在于,所述高折射率膜层为Nb2O5膜层或TiO2膜层。
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