[实用新型]一种烧结炉的输送装置有效
| 申请号： | 201520937385.4 | 申请日： | 2015-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN205428890U | 公开（公告）日： | 2016-08-03 |
| 发明（设计）人： | 颜大安;王镇 | 申请（专利权）人： | 浙江艾能聚光伏科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683 |
| 代理公司： | 浙江永鼎律师事务所 33233 | 代理人： | 蔡鼎 |
| 地址： | 314301 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种烧结炉的输送装置，属于烧结炉技术领域。本烧结炉的输送装置，包括铁丝网输送带，其特征在于，在铁丝网输送带上固定有若干个支撑硅片的支撑钢杆，所述支撑钢杆呈凹字型，支撑钢杆垂直于铁丝网输送带且支撑钢杆的两端分别焊接在铁丝网输送带上，两根支撑钢杆配对且分列在铁丝网输送带两侧，支撑钢杆沿着硅片的输送方向分布，支撑钢杆与硅片的输送方向的夹角为70°～80°。本实用新型加强了硅片背电场加热的均匀性，还可有效避免硅片的边角卡在支撑钢杆下端，影响输送装置正常输送。降低了硅片在输送时，所产生的损坏现象，提高了硅片的生产效率，具有较高的经济效益。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 烧结炉 输送 装置 | ||
【主权项】：
一种烧结炉的输送装置，包括铁丝网输送带(1)，其特征在于，在铁丝网输送带(1)上固定有若干个支撑硅片的支撑钢杆(2)，所述支撑钢杆(2)呈凹字型，支撑钢杆(2)垂直于铁丝网输送带(1)且支撑钢杆(2)的两端分别焊接在铁丝网输送带(1)上，两根支撑钢杆(2)配对且分列在铁丝网输送带(1)两侧，支撑钢杆(2)沿着硅片的输送方向分布，支撑钢杆(2)与硅片的输送方向的夹角为70°～80°。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于浙江艾能聚光伏科技股份有限公司，未经浙江艾能聚光伏科技股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520937385.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
