[实用新型]一种真空镀膜机用高强度镀膜室有效
| 申请号： | 201520884300.0 | 申请日： | 2015-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN205133728U | 公开（公告）日： | 2016-04-06 |
| 发明（设计）人： | 杨志民;王军 | 申请（专利权）人： | 江苏星浪光学仪器有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 225000 江苏省扬*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机用高强度镀膜室，属于滤光片镀膜制造技术领域，解决了传统镀膜机的镀膜室在热工作状态下会发生形变、刚度不满足设计要求的问题。主要包括长方体金属焊接结构、磁控靶，长方体金属焊接结构包括长边侧板、短侧板、上盖以及底板，长边侧板、短侧板均各自分布三排法兰孔群，相邻每排法兰孔群之间固定设有横向加强件，横向加强件为不锈钢实心条并采用电焊接的连接方式与长方体金属焊接结构固定连接。本实用新型刚度能力强，即使在热工作状态下也不会变形，改进结构简单，改进成本低，加工难度低，实用性强，可广泛应用于滤光片镀膜制造技术领域。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 机用高 强度 镀膜 | ||
【主权项】：
一种真空镀膜机用高强度镀膜室，包括长方体金属焊接结构(1)以及设置在所述长方体金属焊接结构(1)内的磁控靶，所述长方体金属焊接结构(1)包括长边侧板(2)、短侧板(3)、上盖(4)以及底板，所述长边侧板(2)、短侧板(3)均各自分布三排法兰孔群(5)，其特征在于：所述相邻每排法兰孔群(5)之间固定设有横向加强件(6)，所述横向加强件(6)为不锈钢实心条并采用电焊接的连接方式与长方体金属焊接结构(1)固定连接。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏星浪光学仪器有限公司，未经江苏星浪光学仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520884300.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种电镀生产线输送装置
- 下一篇：便携式物理气相沉积CrN涂层塑料熔接机
- 同类专利
- 专利分类
