[实用新型]一种高温气体真空干燥装置

摘要

本实用新型公开了一种高温气体真空干燥装置，包括气体供给装置、通过管路一与所述气体供给装置相连的罗茨泵、通过管路二与所述罗茨泵相连的温控装置，以及通过管路三与所述温控装置相连的真空泵，以及通过管路六与真空干燥室相连的真空泵，所述管路一上朝罗茨泵的方向依次设有阀门一、流量调节阀以及真空计一，所述管路一上位于所述阀门一和流量调节阀之间设有管路四，所述管路四的另一端连接真空干燥室，所述管路四上设有阀门四，所述管路三上朝向真空泵的方向依次设有阀门二和阀门三，所述管路四上位于所述阀门四之前连接有管路五，所述管路五的另一端连接于所述管路三上并位于阀门二和温控装置之间，所述管路五上设有阀门五。本实用新型热传导率高，使用上更加安全可靠。

主权项

一种高温气体真空干燥装置，其特征在于，包括气体供给装置、通过管路一与所述气体供给装置相连的罗茨泵、通过管路二与所述罗茨泵相连的温控装置，以及通过管路三与所述温控装置相连的真空泵，所述管路一上朝罗茨泵的方向依次设有阀门一、流量调节阀以及真空计一，所述管路一上位于所述阀门一和流量调节阀之间设有管路四，所述管路四的另一端连接真空干燥室，所述管路四上设有阀门四，所述管路三上朝向真空泵的方向依次设有阀门二和阀门三，所述管路四上位于所述阀门四之前连接有管路五，所述管路五的另一端连接于所述管路三上并位于阀门二和温控装置之间，所述管路五上设有阀门五，所述管路三上位于阀门二和阀门三之间还连接有管路六，所述管路六的另一端连接所述真空干燥室，所述管路六上设有阀门六，所述真空干燥室还连接有真空破坏阀。