[实用新型]一种硅片切割机用切削液循环装置有效
| 申请号： | 201520860145.9 | 申请日： | 2015-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN205058330U | 公开（公告）日： | 2016-03-02 |
| 发明（设计）人： | 陈小力;刘佳 | 申请（专利权）人： | 浙江辉弘光电能源有限公司 |
| 主分类号： | B28D7/02 | 分类号： | B28D7/02 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 胡根良 |
| 地址： | 314200 浙江省嘉*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种硅片切割机用切削液循环装置，解决了现有技术中用于硅片切割机的切削液循环系统容易在管道内积聚大量的泡沫，容易造成硅片在切割时损坏的不足。本实用新型提供的一种硅片切割机用切削液循环装置，储水桶连接有供水泵，供水泵通过供水管将切削液供入切割机的水箱内，水箱内参与切割后的切削液经溢流口进入溢流管内，溢流管上串接有去泡池，去泡池上开设有进水口和出水口，并且，进水口的水平高度高于出水口的水平高度，在出水口内设有安全阀，出水口排出的切削液经沉淀、过滤、再沉淀之后进入储水桶内进行循环使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 切割机 切削 循环 装置 | ||
【主权项】：
一种硅片切割机用切削液循环装置，其特征在于：包括储水桶(1)，所述储水桶(1)通过供水管(2)向至少一台切割机供水，所述切割机包括水箱(3)，所述供水管(2)与水箱(3)相通，所述水箱(3)上开设有溢流口，该硅片切割机用切削液循环装置还包括过滤机(4)，每个水箱(3)上的溢流口均通过溢流管(5)将切削液送至过滤机(4)，所述溢流管(5)上串接有去泡池(6)，所述去泡池(6)上开设有与溢流口相通的进水口(7)，所述去泡池(6)上还开设有与过滤机(4)相通的出水口(8)，所述出水口(8)内安装有安全阀(9)，所述进水口(7)的水平高度高于出水口(8)的水平高度，所述进水口(7)内切削液的流量与出水口(8)内切削液的流量相等，所述去泡池(6)上端还固定有与去泡池(6)相通的容泡池(10)，所述容泡池(10)的容积大于去泡池(6)的容积，所述过滤机(4)与储水桶(1)之间通过回水管(11)相通，所述去泡池(6)与过滤机(4)之间串接有第一沉淀桶(12)，所述回水管(11)上串接有第二沉淀桶(13)，所述储水桶(1)上连接有两个供水泵(14)，两个供水泵(14)并联后均向供水管(2)供水。
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