[实用新型]一种区熔单晶炉用锥形保温桶有效
申请号: | 201520841552.5 | 申请日: | 2015-10-28 |
公开(公告)号: | CN205171011U | 公开(公告)日: | 2016-04-20 |
发明(设计)人: | 姚长娟;靳立辉;高树良;白聪轩;李宇佳;王遵义 | 申请(专利权)人: | 天津中环半导体股份有限公司 |
主分类号: | C30B13/00 | 分类号: | C30B13/00;C30B29/06 |
代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 胡京生 |
地址: | 300384 *** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种区熔单晶炉用锥形保温桶。包括桶体、把手、封闭圆环,桶体为上大下小的倒锥形桶体;把手上面开有条状中轴孔;封闭圆环固定于桶体上端的外桶体壁上,把手固定于封闭圆环上。本实用新型的有益效果是:采用该保温桶的设计,能够有效避免硅单晶在区熔保持过程中易产生开裂的情况的发生。结构简单,可以提高热场的稳定性,延长区熔炉的使用寿命。 | ||
搜索关键词: | 一种 区熔单晶炉用 锥形 保温桶 | ||
【主权项】:
一种区熔单晶炉用锥形保温桶,包括桶体(1)、把手(2)、封闭圆环(3),其特征在于:所述桶体(1)为上大下小的倒锥形桶体;所述把手(2)上面开有条状中轴孔(2‑1);所述封闭圆环(3)固定于桶体(1)上端的外桶体壁上,把手(2)固定于封闭圆环(3)上。
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