[实用新型]一种乙硅烷低温精馏装置有效
| 申请号： | 201520817748.0 | 申请日： | 2015-10-20 |
| 公开（公告）号： | CN205115061U | 公开（公告）日： | 2016-03-30 |
| 发明（设计）人： | 郑春宁;何波;徐昕 | 申请（专利权）人： | 南京亚格泰新能源材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 南京众联专利代理有限公司 32206 | 代理人： | 顾进 |
| 地址： | 210047 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种乙硅烷低温精馏装置，包括第一精馏塔釜和第二精馏塔釜，所述的第一精馏塔釜和第二精馏塔釜的塔顶分别连接有第一冷凝器和第二冷凝器，塔底分别连接有第一再沸器和第二再沸器，第一精馏塔的塔顶液出口与废液回收罐相连，第一精馏塔的塔釜液出口与出料管相连，所述的出料管分为2路，一路并入反应釜的进料管，另一路与第二精馏塔的进料口相连，第二精馏塔的塔顶出料口与为反应釜供料的液氨储罐相连，第二精馏塔的塔釜出料口与乙硅烷储罐相连，采用二级低温精馏，使乙硅烷纯度达到99.995%的质量标准，方便厂家的生产超大规模集成电路20纳米以下的高端芯片的高纯度4N的乙硅烷，实用范围广。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅烷 低温 精馏 装置 | ||
【主权项】：
一种乙硅烷低温精馏装置，其特征在于，包括第一精馏塔釜和第二精馏塔釜，所述的第一精馏塔釜和第二精馏塔釜的塔顶分别连接有第一冷凝器和第二冷凝器，塔底分别连接有第一再沸器和第二再沸器，第一精馏塔的塔顶液出口与废液回收罐相连，第一精馏塔的塔釜液出口与出料管相连，所述的出料管分为2路，一路并入反应釜的进料管，另一路与第二精馏塔的进料口相连，第二精馏塔的塔顶出料口与为反应釜供料的液氨储罐相连，第二精馏塔的塔釜出料口与乙硅烷储罐相连。
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