[实用新型]一种快速制备材料的微波等离子反应装置

摘要

本实用新型公开了一种用于快速制备材料的微波等离子体反应装置，属于微波应用技术领域。包括等离子体激发装置、反应器和气压调节装置，等离子体激发装置为商用微波源；反应器放置在微波腔内，同时将反应物放置在反应器内；通过真空连接法兰和真空气体调节阀调整输入气体的压力。当工作气体通过通道到达微波区域时，在气体调节阀的调节下生成等离子体，并加热反应物。本反应装置能够在常温常压下持续工作，生成高纯度、高质量的材料，具有很好的工业应用前景。

主权项

一种快速制备材料的微波等离子反应装置，其特征在于：包括真空调节系统、等离子体激发装置和反应器，所述反应器的反应区置于等离子体激发装置内，所述真空调节系统包括抽气装置、抽气管路和工作气接入管路，所述工作气接入管路和抽气管路分别与反应器的进气端和出气端密闭连接，所述抽气管路还与抽气装置连接，在所述抽气管路和工作气接入管路上设置有气体调节阀。