[实用新型]一种三维曲面上微笔直写电子浆料的装置

摘要

本实用新型公开了一种三维曲面上微笔直写电子浆料的装置，装置包括五轴联动工作台、微笔直写子系统和控制单元。五轴联动工作台由XY工作台、Z轴和旋转工作台组成，微笔直写子系统由微笔阵列、激光位移传感器和夹具组成，控制单元用于控制五轴联动工作台运动，使激光位移传感器与微笔阵列能够同时移动，并在微笔直写过程中控制微笔直写笔头与工件之间的垂直距离。本实用新型可以使在不平整的三维曲面工件上直写的电子浆料层厚薄均匀，工艺稳定性好，环境友好，降低制造成本，可靠性高。本实用新型适用于多种材料基板、不同性质的电子浆料的直写，可快速获得性能良好的电子元器件或薄膜器件等。

主权项

一种三维曲面上微笔直写电子浆料的装置，其特征在于，该装置包括五轴联动工作台、微笔直写子系统和控制单元；所述五轴联动工作台包括XY工作台、Z轴和旋转工作台，Z轴与XY工作台垂直安装，旋转工作台安装在XY工作台上，用于安装待直写的工件，旋转工作台能够使工件分别绕X轴方向和Z轴方向旋转运动；微笔直写子系统包括微笔阵列、激光位移传感器和夹具，微笔阵列由阵列排布的微笔直写笔头构成，微笔阵列固定在与Z轴相连的支架上，微笔阵列垂直于XY工作台的平面安装；激光位移传感器通过夹具安装在与Z轴相连的所述支架上，激光位移传感器与XY工作台的平面倾斜安装；控制单元用于控制五轴联动工作台运动，使激光位移传感器与微笔阵列能够同时移动，并在微笔直写过程中控制微笔直写笔头与工件之间的垂直距离。