[实用新型]0.1μm分辨率三坐标测量机

摘要

本实用新型公开一种0.1μm分辨率三坐标测量机，包括：载物平台、主动活动臂、从动活动臂、钢带绝对光栅尺、读数头和水平桥，所述主动活动臂、从动活动臂分别设置于载物平台两侧，所述主动活动臂、从动活动臂各自的上端之间固定有所述水平桥，此水平桥位于载物平台正上方；所述钢带绝对光栅尺安装于机床上且其与沿x向方向平行设置，所述读数头设在工作台上，所述钢带绝对光栅尺与工作台运动方向平行，所述读数头随所述工作台移动，并通过位于读数头内部的光电传感器扫描所述钢带绝对光栅尺上的增量光栅获得位移量，所述增量光栅中穿插有若干个绝对参考点。本实用新型有效消除往复测量误差和机械配合误差，同时因使用光扫描测量法而具备良好的抗污染能力和长期稳定性。

主权项

 一种0.1μm分辨率三坐标测量机，其特征在于：包括：载物平台（1）、主动活动臂（2）、从动活动臂（3）、钢带绝对光栅尺（10）、读数头（11）和水平桥（4），所述主动活动臂（2）、从动活动臂（3）分别设置于载物平台（1）两侧，所述主动活动臂（2）、从动活动臂（3）各自的上端之间固定有所述水平桥（4），此水平桥（4）位于载物平台（1）正上方，一可沿水平方向滑动的X轴滑块（5）安装于所述水平桥（4）上，所述X轴滑块（5）滑动连接有可沿垂直方向滑动的Z轴移动机构（6），此Z轴移动机构（6）下端固定有激光探头系统（8）和摄像头（9）；所述钢带绝对光栅尺（10）安装于水平桥（4）上且其与沿x向方向平行设置，所述读数头（11）设在X轴滑块（5）上，所述钢带绝对光栅尺（10）与X轴滑块（5）运动方向平行，所述读数头（11）随所述X轴滑块（5）移动，并通过位于读数头（11）内部的光电传感器（12）扫描所述钢带绝对光栅尺（10）上的增量光栅（11）获得位移量，所述增量光栅（11）中穿插有若干个绝对参考点（14）。