[实用新型]一种用于自动曝光机作业的菲林有效
| 申请号： | 201520683330.5 | 申请日： | 2015-09-07 |
| 公开（公告）号： | CN204925612U | 公开（公告）日： | 2015-12-30 |
| 发明（设计）人： | 周晓亮;郭上理;王小娟 | 申请（专利权）人： | 瑞华高科技电子工业园（厦门）有限公司 |
| 主分类号： | G03F1/42 | 分类号： | G03F1/42 |
| 代理公司： | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人： | 李雅箐 |
| 地址： | 361000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及柔性线路板制造工艺领域，特别涉及一种用于自动曝光机作业的菲林。本实用新型公开了一种用于自动曝光机作业的菲林，包括黑色挡光边框区域、透明边框区域和线路菲林图形区域，所述透明边框区域位于黑色挡光边框区域内，所述线路菲林图形区域位于透明边框区域内，所述线路菲林图形区域设有对应于FPC铜板CCD孔的MARK点。本实用新型可以极大地提高产品的线路生产效率，降低因为人员操作不熟练造成的对位偏移、破孔、开路、缺口、短路等不良比例，从而提高柔性线路板的品质良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 自动 曝光 作业 | ||
【主权项】：
一种用于自动曝光机作业的菲林，其特征在于：包括黑色挡光边框区域、透明边框区域和线路菲林图形区域，所述透明边框区域位于黑色挡光边框区域内，所述线路菲林图形区域位于透明边框区域内，所述线路菲林图形区域设有对应于FPC铜板CCD孔的MARK点。
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G03 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版，例如掩膜，光掩膜；其所用空白掩膜或其所用薄膜；其专门适用于此的容器；其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如通过电子束；其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜，例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM]；PSM空白；其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜；其制备，例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜，例如用于校准或测试的特殊涂层或标记；其制备
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