[实用新型]一种用于自动曝光机作业的菲林有效
申请号: | 201520683330.5 | 申请日: | 2015-09-07 |
公开(公告)号: | CN204925612U | 公开(公告)日: | 2015-12-30 |
发明(设计)人: | 周晓亮;郭上理;王小娟 | 申请(专利权)人: | 瑞华高科技电子工业园(厦门)有限公司 |
主分类号: | G03F1/42 | 分类号: | G03F1/42 |
代理公司: | 厦门市精诚新创知识产权代理有限公司 35218 | 代理人: | 李雅箐 |
地址: | 361000 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 自动 曝光 作业 | ||
1.一种用于自动曝光机作业的菲林,其特征在于:包括黑色挡光边框区域、透明边框区域和线路菲林图形区域,所述透明边框区域位于黑色挡光边框区域内,所述线路菲林图形区域位于透明边框区域内,所述线路菲林图形区域设有对应于FPC铜板CCD孔的MARK点。
2.根据权利要求1所述的用于自动曝光机作业的菲林,其特征在于:所述MARK点为黑色实心点。
3.根据权利要求1所述的用于自动曝光机作业的菲林,其特征在于:所述线路图形位于菲林的最中心区域,即线路图形上下两边离菲林外框上下两边的距离一致,线路图形左右两边离菲林外框左右两边的距离也是一致的。
4.根据权利要求1所述的用于自动曝光机作业的菲林,其特征在于:其还包括菲林标头。
5.根据权利要求4所述的用于自动曝光机作业的菲林,其特征在于:所述菲林标头位于线路图形的上方。
6.根据权利要求1所述的用于自动曝光机作业的菲林,其特征在于:所述菲林的四个角为圆角。
7.根据权利要求1所述的用于自动曝光机作业的菲林,其特征在于:所述MARK点数量为2个,分别设置在线路图形非250mm方向的两边的中心位置,MARK点之间的中心距离为244mm,MARK点中心到其所在的线路图形边的距离为3mm。
8.根据权利要求1所述的用于自动曝光机作业的菲林,其特征在于:所述黑色挡光边框区域的宽度为10mm,所述透明边框区域的宽度为2mm。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备