[实用新型]一种真空溅射镀膜基片的装夹装置有效
| 申请号： | 201520668550.0 | 申请日： | 2015-08-23 |
| 公开（公告）号： | CN205011833U | 公开（公告）日： | 2016-02-03 |
| 发明（设计）人： | 王新;牛建国 | 申请（专利权）人： | 洛阳新兆电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 471000 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 一种真空溅射镀膜基片的装夹装置，是由：竖梁一侧设置至少两根横梁，横梁设置为十字型，十字型横梁两侧分别设置侧梁；中部横梁上面对称设置两个双面下弹性卡、上方横梁下面对称设置两个双面上弹性卡，双面下弹性卡与双面上弹性卡之间设置双面基片；上方横梁下面与中部横梁上面设置一组双面上弹性卡与双面下弹性卡；上方横梁的侧梁下方对称设置两个单面上弹性卡、中部横梁的侧梁上面对称设置两个单面下弹性卡，单面上弹性卡与单面下弹性卡之间设置单面基片；单面或双面镀膜共用一套装夹装备，通用性强；更换产品品种，方便快捷；解决绕射问题，可以生产低阻高档产品；结构简单，造价便宜，永久使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 溅射 镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种真空溅射镀膜基片的装夹装置，是由：双面基片(1)、双面下弹性卡(2)、双面上弹性卡(3)、横梁(4)、竖梁(5)、单面上弹性卡(6)、单面下弹性卡(7)、单面基片(8)构成；其特征在于：如图所示，竖梁(5)一侧设置至少两根横梁(4)，横梁(4)设置为十字型，十字型横梁(4)两侧分别设置侧梁；中部横梁(4)上面对称设置两个双面下弹性卡(2)、上方横梁(4)下面对称设置两个双面上弹性卡(3)，双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2)的卡头对应设置，双面下弹性卡(2)与双面上弹性卡(3)之间设置双面基片(1)；上方横梁(4)下面与中部横梁(4)上面设置一组双面上弹性卡(3)与双面下弹性卡(2)。
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