[实用新型]一种深冷绝热纸放气率测试系统

摘要

本实用新型记载了一种深冷绝热纸放气率测试系统，包括氮瓶、液氮杜瓦、出气室、抽空室、涡轮分子泵以及旋片真空泵，该出气室分别与氮瓶、液氮杜瓦以及抽空室相连，且旋片真空泵通过涡轮分子泵与抽空室相连，而旋片真空泵还直接与抽空室相连；其中，出气室通过第一插板阀与离子泵相连，氮瓶与出气室之间设置有放气阀，出气室和抽空室之间设置有抽气阀和微调阀，该抽空室还连接有残余气体分析仪和全量程规；旋片真空泵与抽空室之间设置有预抽阀。即本实用新型通过采用了针对深冷绝热纸放气率量级和特定测试要求设计，有效的弥补了该技术领域内的欠缺，达到了满足针对深冷绝热纸放气率量级和特定测试要求的目的。

主权项

一种深冷绝热纸放气率测试系统，包括氮瓶、液氮杜瓦、出气室、抽空室、涡轮分子泵以及旋片真空泵；所述出气室分别与氮瓶、液氮杜瓦以及抽空室相连，所述旋片真空泵通过涡轮分子泵与抽空室相连，所述旋片真空泵还直接与抽空室相连，所述液氮杜瓦的侧边设置有加热器；其特征在于，所述出气室通过第一插板阀与离子泵相连，所述出气室还连接有高真空电容规和低真空电容规；所述氮瓶与出气室之间设置有放气阀，所述出气室和抽空室之间设置有抽气阀和微调阀，所述抽空室还连接有残余气体分析仪和全量程规；所述涡轮分子泵与抽空室之间设置有第二插板阀，所述涡轮分子泵与旋片真空泵之间设置有前级泵，所述涡轮分子泵还连接有检漏阀；所述旋片真空泵与抽空室之间设置有预抽阀，所述旋片真空泵还连接有旋片泵放气阀。