[实用新型]一种倒装LED芯片光电性能测试装置有效
| 申请号： | 201520663476.3 | 申请日： | 2015-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN205103368U | 公开（公告）日： | 2016-03-23 |
| 发明（设计）人： | 李龙;张文杰 | 申请（专利权）人： | 大连德豪光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 广东秉德律师事务所 44291 | 代理人： | 杨焕军 |
| 地址： | 116100 辽宁省大*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种倒装LED芯片光电性能测试装置，包括固定载台、反射镜、真空槽、两个探针和积分球；所述积分球和探针位于固定载台上方的倒装LED芯片的晶圆同侧；所述反射镜安装于固定载台中部且两者的上表面平齐设置，所述真空槽设置于反射镜外围的固定载台侧面的双边缘上；所述反射镜和固定载台的上表面铺设有用于承载倒装LED芯片的蓝膜，蓝膜通过真空槽抽真空后直接固定于反射镜和固定载台的上表面；所述固定载台两侧还分别设有用于固定两个探针的探针座，所述积分球的收光口朝下正对于待测的倒装LED芯片，所述倒装LED芯片发光面朝下放置在蓝膜上。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 倒装 led 芯片 光电 性能 测试 装置 | ||
【主权项】：
一种倒装LED芯片光电性能测试装置，包括固定载台(9)、反射镜(8)、真空槽(10)、两个探针(3)和积分球(1)，其特征在于：所述积分球(1)和探针(3)位于固定载台上方的倒装LED芯片(5)的晶圆同侧；所述反射镜(8)安装于固定载台(9)中部且两者的上表面平齐设置，所述真空槽(10)设置于反射镜(8)外围的固定载台(9)侧面的双边缘上；所述反射镜(8)和固定载台(9)的上表面铺设有用于承载倒装LED芯片(5)的蓝膜(6)，蓝膜(6)通过真空槽(10)抽真空后直接固定于反射镜(8)和固定载台(9)的上表面；所述固定载台(9)两侧还分别设有用于固定两个探针(3)的探针座(7)，所述积分球(1)的收光口(2)朝下正对于待测的倒装LED芯片(5)，所述倒装LED芯片(5)发光面朝下放置在蓝膜(6)上。
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