[实用新型]工件清洗设备

摘要

本实用新型提供了一种工件清洗设备，包括处理腔室(14)、施加液体介质的装置(20)，还包括加热-热交换器(3501)，所述施加液体介质的装置(20)将经过加热装置(35)恒温处理的至少一种液体介质(18)输送至所述处理腔室(14)的内部区域(39)的处理区域(16)对工件(12)进行处理。本实用新型通过设计制冷剂和液体介质的循环回路，在不影响设备性能的情况下，将清洗废气中的热能和水蒸汽进行回收和再利用，从而减少清洗过程中对水和能源的消耗。

主权项

一种工件清洗设备，包括处理腔室(14)、施加液体介质的装置(20)，其特征在于，还包括加热‑热交换器(3501)，所述施加液体介质的装置(20)将经过第二加热装置(35)恒温处理的至少一种液体介质(18)输送至所述处理腔室(14)的内部区域(39)的处理区域(16)对工件(12)进行处理；还包括从处理腔室(14)内部区域抽吸气体介质的装置(37)、冷凝器(44)、制冷装置(52)，所述抽吸气体介质的装置(37)将处理腔室(14)中吸出的气体介质(1801)输送至冷凝器(44)，并将从液体介质(18)中吸收的蒸汽、雾状、气体成分中的任一种或任多种冷凝为冷凝液(19)；所述制冷装置(52)与冷凝器(44)的二次侧相连，以便提供冷凝所需的低温，且所述制冷装置(52)和第二加热装置的一次侧(53)相连；冷凝器(44)与液体介质(18)的储存容器(24)相连，以便将冷凝器(44)中形成的冷凝液(19)送回储存容器(24)，且所述储存容器(24)和施加液体介质(18)的装置(20)相连，以将液体介质(18)输送至施加液体介质的装置(20)，进而施加至安排在处理腔室(14)的处理区域(16)中的工件(12)上。