[实用新型]一种电池硅片的在线风刀吹干装置

摘要

本实用新型公开了一种电池硅片的在线风刀吹干装置，用于对制绒或湿法刻蚀后电池硅片进行干燥，包括相对设置的上、下风刀，风刀出风口设计为三排间错排列具有一定距离的风孔形式，中间一排风孔倾斜设置，当硅片在滚轮传动下经过风刀时，中间一排风孔吹出风的倾斜方向与硅片运动方向相反，上、下风刀之间距离以及上、下风刀与硅片表面距离可通过调整支架调整，使吹干效果更好，硅片在滚轮带动下经过风刀时，由风孔吹出的风能很好地将硅片表面的液体赶走，并在热风烘干作用下达到在线快速吹干硅片的目的。

主权项

一种电池硅片的在线风刀吹干装置，用于对制绒或湿法刻蚀后电池硅片进行干燥，其特征在于，包括相对设置的上、下风刀，所述上、下风刀设有由入风口向其相对面的出风口收窄的内部风道，其出风口设有间错排列的第一～第三排风孔，所述风孔连通风道，所述风道连通真空压缩泵；其中，位于中间的第二排风孔的风向朝向硅片通过方向的逆向倾斜设置，位于其两侧的第一、第三排风孔的风向垂直设置，上、下所述风刀在垂直方向的位置可调；其中，通过向上、下所述风刀收窄的内部风道中通入气体，在所述真空压缩泵的作用下形成加速的增压热风，经所述第一～第三排风孔向垂直及逆向倾斜方向分别吹出，以将由上、下所述风刀之间通过的硅片在线快速吹干。