[实用新型]一种扩散炉管尾气排放装置有效
申请号: | 201520565064.6 | 申请日: | 2015-07-30 |
公开(公告)号: | CN204982136U | 公开(公告)日: | 2016-01-20 |
发明(设计)人: | 明伟辉;徐义胜 | 申请(专利权)人: | 苏州阿特斯阳光电力科技有限公司 |
主分类号: | C30B31/06 | 分类号: | C30B31/06 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 张海英;林波 |
地址: | 215011 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型涉及太阳能电池领域,尤其涉及一种扩散炉管尾气排放装置。本实用新型提供的扩散炉管尾气排放装置,包括缓冲罐,所述缓冲罐的气体入口与扩散炉管的气体出口连通,所述缓冲罐的气体出口与排废管路连通,当排废出现波动时,首先抽出缓冲罐中的废气,而不会直接作用于炉管内部,使得炉管内部的气流仍可以保持稳定的状态,降低排废波动对扩散炉管中晶硅太阳能电池的扩散方阻的影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 扩散 炉管 尾气 排放 装置 | ||
【主权项】:
一种扩散炉管尾气排放装置,其特征在于:包括缓冲罐,所述缓冲罐的气体入口与扩散炉管的气体出口连通,所述缓冲罐的气体出口与排废管路连通。
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