[实用新型]一种三自由度微定位工作台

摘要

本实用新型涉及一种三自由度微定位工作台，属于定位器械技术领域。本实用新型包括基座、动平台、三个压电陶瓷驱动器和实现运动传递的三条支链；在基座的上部安装两个压电陶瓷驱动器，在基座的底部安装一个压电陶瓷驱动器，每个压电陶瓷驱动器末端均通过锁紧螺栓固定在基座上，其顶部均通过螺纹连接球形触头。本实用新型结合了球形柔性铰链的特点，依靠自身的变形，可以达到高精度的输出位移，同时能够有效避免输出位移之间的耦合。

主权项

一种三自由度微定位工作台，其特征在于：包括基座（1）、动平台（8）、三个压电陶瓷驱动器（2）和实现运动传递的三条支链；在基座（1）的上部安装两个压电陶瓷驱动器（2），在基座（1）的底部安装一个压电陶瓷驱动器（2），每个压电陶瓷驱动器（2）末端均通过锁紧螺栓固定在基座（1）上，其顶部均通过螺纹连接球形触头（3）；所述三条支链分布在基座（1）与动平台（8）之间，其中第一，第二支链均包括驱动环节（4）、刚性移动块（7）和并联球形柔性铰链组（11）；其中刚性移动块（7）四周连接并联球形柔性铰链组（11），刚性移动块（7）左右两侧的并联球形柔性铰链组（11）与基座（1）相连，上侧的并联球形柔性铰链组（11）与动平台（8）相连，下侧的与驱动环节（4）相连；所述的三条支链中各驱动环节（4）一个侧面中部均和球形触头（3）顶部相接触。