[实用新型]坩埚旋转喷涂台有效
申请号: | 201520543660.4 | 申请日: | 2015-07-26 |
公开(公告)号: | CN205008145U | 公开(公告)日: | 2016-02-03 |
发明(设计)人: | 汪伟华 | 申请(专利权)人: | 浙江羿阳太阳能科技有限公司 |
主分类号: | B05B13/00 | 分类号: | B05B13/00;B05B15/00 |
代理公司: | 北京方圆嘉禾知识产权代理有限公司 11385 | 代理人: | 董芙蓉 |
地址: | 313000 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本实用新型属于硅锭生产技术领域,特别是涉及一种坩埚旋转喷涂台。包括底座和旋转架,其中旋转架一侧通过连接杆与底座铰接,另一侧通过升降机构铰接,所述旋转架包括底板和四周侧板,其中底板上设有底部加热板,四周侧板上分别设有侧面加热板,在底部加热板和侧面加热板上分别设有顶紧机构,该顶紧机构包括顶紧螺杆,对应顶紧螺杆在底板或者侧板上匹配设有螺纹通孔,顶紧螺杆穿过所述螺纹通孔,其末端与底部加热板或者侧面加热板固定连接。本实用新型坩埚旋转喷涂台结构简单,热利用率高,而且加热均匀,成品率高,因此,非常适于推广实施。 | ||
搜索关键词: | 坩埚 旋转 喷涂 | ||
【主权项】:
一种坩埚旋转喷涂台,包括底座和旋转架,其中旋转架一侧通过连接杆与底座铰接,另一侧通过升降机构铰接,所述旋转架包括底板和四周侧板,其中底板上设有底部加热板,四周侧板上分别设有侧面加热板,其特征是:在底部加热板和侧面加热板上分别设有顶紧机构,该顶紧机构包括顶紧螺杆,对应顶紧螺杆在底板或者侧板上匹配设有螺纹通孔,顶紧螺杆穿过所述螺纹通孔,其末端与底部加热板或者侧面加热板固定连接。
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