[实用新型]用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置有效
申请号: | 201520512500.3 | 申请日: | 2015-07-15 |
公开(公告)号: | CN204824150U | 公开(公告)日: | 2015-12-02 |
发明(设计)人: | 涂夏明;张辉;屈杰;陈斌;寇文勇;张俊峰 | 申请(专利权)人: | 陕西天宏硅材料有限责任公司 |
主分类号: | C01B7/07 | 分类号: | C01B7/07 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 宋秀珍 |
地址: | 710006 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 提供一种用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置,包括缓冲罐,缓冲罐的进口与多晶硅生产中用于排放氯化氢气体的气体管道连接,缓冲罐的出口通过管道Ⅰ与淋洗塔连通,淋洗塔通过管道Ⅱ与一级降膜吸收器连通,一级降膜吸收器通过气相管Ⅰ和液相管Ⅰ与二级降膜吸收器连通,二级降膜吸收器通过气相管Ⅱ和液相管Ⅱ与三级降膜吸收器连通,三级降膜吸收器通过气相管Ⅲ和液相管Ⅲ与尾气喷淋塔连通,一级降膜吸收器还与浓酸储槽连接。本实用新型将氯化氢气体通过多级降膜吸收器吸收增浓后形成的浓盐酸排入浓酸储槽内存储,保证多晶硅生产的连续运行,提高氯化氢的利用率,浓度满足使用要求,减少环境污染,降低生产成本。 | ||
搜索关键词: | 用于 多晶 生产 氯化氢 连续 回收 处理 装置 | ||
【主权项】:
用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置,其特征在于:包括缓冲罐(1),所述缓冲罐(1)的进口(101)与多晶硅生产中用于排放氯化氢气体的气体管道连接,所述缓冲罐(1)的出口(102)通过管道Ⅰ(103)与淋洗塔(2)连通,所述淋洗塔(2)通过管道Ⅱ(202)与一级降膜吸收器(3)连通,所述一级降膜吸收器(3)通过气相管Ⅰ(304)和液相管Ⅰ(401)与二级降膜吸收器(4)连通,所述二级降膜吸收器(4)通过气相管Ⅱ(402)和液相管Ⅱ(501)与三级降膜吸收器(5)连通,所述三级降膜吸收器(5)通过气相管Ⅲ(502)和液相管Ⅲ(604)与尾气喷淋塔(6)连通,所述一级降膜吸收器(3)还与浓酸储槽(7)连接,所述氯化氢气体通过多级降膜吸收器吸收增浓后形成的浓盐酸排入浓酸储槽(7)内存储,所述氯化氢气体通过多级降膜吸收器吸收后的尾气从尾气喷淋塔(6)的顶部排放。
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