[实用新型]用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置

权利要求书

1.用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置，其特征在于：包括缓冲罐(1)，所述缓冲罐(1)的进口(101)与多晶硅生产中用于排放氯化氢气体的气体管道连接，所述缓冲罐(1)的出口(102)通过管道Ⅰ(103)与淋洗塔(2)连通，所述淋洗塔(2)通过管道Ⅱ(202)与一级降膜吸收器(3)连通，所述一级降膜吸收器(3)通过气相管Ⅰ(304)和液相管Ⅰ(401)与二级降膜吸收器(4)连通，所述二级降膜吸收器(4)通过气相管Ⅱ(402)和液相管Ⅱ(501)与三级降膜吸收器(5)连通，所述三级降膜吸收器(5)通过气相管Ⅲ(502)和液相管Ⅲ(604)与尾气喷淋塔(6)连通，所述一级降膜吸收器(3)还与浓酸储槽(7)连接，所述氯化氢气体通过多级降膜吸收器吸收增浓后形成的浓盐酸排入浓酸储槽(7)内存储，所述氯化氢气体通过多级降膜吸收器吸收后的尾气从尾气喷淋塔(6)的顶部排放。

2.根据权利要求1所述的用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置，其特征在于：所述淋洗塔(2)通过管线连接有喷淋泵(201)。

3.根据权利要求2所述的用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置，其特征在于：所述一级降膜吸收器(3)底部设有浓酸中间槽(301)，所述一级降膜吸收器(3)和浓酸中间槽(301)之间通过管道连接有浓酸循环泵(302)和循环水换热器(303)，所述浓酸循环泵(302)的出口通过外排阀(701)与浓酸储槽(7)连通。

4.根据权利要求3所述的用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置，其特征在于：所述尾气喷淋塔(6)的底部设有稀酸中间槽(601)，所述稀酸中间槽(601)和尾气喷淋塔(6)之间通过管道连接有稀酸循环泵(602)，所述尾气喷淋塔(6)通过气相管Ⅲ(502)与三级降膜吸收器(5)的顶部连通，所述尾气喷淋塔(6)底部通过两支液相管Ⅲ(604)分别与稀酸中间槽(601)和三级降膜吸收器(5)连通。

5.根据权利要求4所述的用于多晶硅生产中氯化氢的连续回收处理装置，其特征在于：所述尾气喷淋塔(6)与三级降膜吸收器(5)相连接的液相管Ⅲ(604)上设有控制阀(603)。