[实用新型]硅晶圆切割废滤饼的干燥装置

摘要

一种硅晶圆切割废滤饼的干燥装置，包含有一机体，具有一供置入油泥状废滤饼的干燥腔室。一微波单元，具有数个对应该干燥腔室的微波发热器，借微波发热器所释出微波能量，以对废滤饼进行微波振荡加热处理。一抽真空单元，可产生一负压吸力以抽取该干燥腔室内的油气。一冷凝单元，经由抽真空单元自干燥腔室所抽引出的油气分子，经过冷凝处理后成为液态回收油。一控制单元，用以控制前述各单元的运作。在微波单元动作下，使废滤饼内含的水分子产生振荡加热，进而转相为气态油气，且借该抽真空单元将干燥腔室内的油气抽送至冷凝单元，进而冷凝成可供回收再利用的回收切削油。

主权项

一种硅晶圆切割废滤饼的干燥装置，其特征在于，包含有：一机体，具有一干燥腔室，油泥状的废滤饼置入于该干燥腔室内；一微波单元，设置在该机体上，并具有多个对应该干燥腔室的微波发热器，前述微波发热器释出微波能量对废滤饼进行微波振荡加热处理；一抽真空单元，与该干燥腔室连接，并产生一负压吸力以抽取该干燥腔室内的油气；一冷凝单元，与该抽真空单元链接，该抽真空单元自该干燥腔室所抽引出的油气分子，在经过该冷凝单元的冷凝处理后成为液态回收油；一用以控制前述微波单元、抽真空单元及冷凝单元运作的控制单元，具有一电机机构。