[实用新型]一种新型真空设备观察窗挡板机构有效
申请号: | 201520488614.9 | 申请日: | 2015-07-09 |
公开(公告)号: | CN204849017U | 公开(公告)日: | 2015-12-09 |
发明(设计)人: | 金云华;李抚龙;何奋;刘敏 | 申请(专利权)人: | 爱蓝天高新技术材料(大连)有限公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 116000 辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 一种新型真空设备观察窗挡板机构,属于真空镀膜设备领域,主要由圆形挡板,连接板,存放箱以及把手组成,结构简单,造价低,给镀膜过程中的观察以及后期清理带来了很多便利,在降低了生产成本的同时也降低工人的劳动强度。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 真空设备 观察窗 挡板 机构 | ||
【主权项】:
一种新型真空设备观察窗挡板机构,其特征在于,圆形挡板(1)固定在连接板(2)的左端,且圆形挡板(1)的直径要至少10mm,连接板(2)上设有轴套孔(3),连接板(2)的右端固定着存放箱(4),存放箱(4)的上端设有球冠(5),在存放箱内(4)固定着磁铁Ⅰ(6),螺栓(7)通过轴套孔(3)将连接板(2)安装在真空室内的真空隔板(8)上,则圆形挡板(1)位于观察窗(9)的下方,存放箱(4)通过球冠(5)与真空室壁(8)接触,在真空室外的真空室壁(8)上设有把手(10),且把手(10)与存放箱(4)相对应,所述的把手(10)内部固定着磁铁Ⅱ(11)。
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