[实用新型]一种自动去边机视觉寻参装置有效
| 申请号： | 201520461123.5 | 申请日： | 2015-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN204758491U | 公开（公告）日： | 2015-11-11 |
| 发明（设计）人： | 靳立辉;王国瑞;李宇佳;张学强;郑全午;高树良 | 申请（专利权）人： | 天津中环半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 张莹 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区高新区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种自动去边机视觉寻参装置，包括工作台、定心台、光源、摄像机、镜头和支架，在工作台上设有定心台，在工作台旁设有支架，在定心台上设有吸盘，在吸盘的四周设有定位柱，在定心台的上方依次设有光源和摄像机，镜头与摄像机的接口相连，光源和摄像机均固定在工作台旁的支架上，摄像机通过图像采集卡与计算机相连，计算机与显示器相连。本视觉寻参装置能够在短时间内对硅片参考面进行扫描，硅片无需旋转360°进行边缘扫描；视觉定位后，硅片只需向一个方向旋转某一角度后即可完成寻参过程；自动去边机产能比原寻参机构提高21％，去边精度从±0.3mm提高至±0.2mm。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 自动 去边机 视觉 装置 | ||
【主权项】：
一种自动去边机视觉寻参装置，其特征在于：包括工作台、定心台、光源、摄像机、镜头和支架，在所述工作台上设有所述定心台，在所述工作台旁设有所述支架，在所述定心台上设有吸盘，在所述吸盘的四周设有定位柱，在所述定心台的上方依次设有所述光源和摄像机，所述镜头与摄像机的接口相连，所述光源和摄像机均固定在工作台旁的支架上，所述摄像机通过图像采集卡与计算机相连，所述计算机与显示器相连。
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