[实用新型]一种曝光机对较小片子进行操作的样品平台有效
| 申请号： | 201520419761.0 | 申请日： | 2015-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN204964985U | 公开（公告）日： | 2016-01-13 |
| 发明（设计）人： | 李喜玲;郭党委 | 申请（专利权）人： | 兰州大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 730000 甘*** | 国省代码： | 甘肃;62 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种曝光机对较小片子进行操作的样品平台，样品台为包括光滑正、反两相对面的方形玻璃片，样品台一边侧设有定位钉孔，且样品台反面设有环形凹槽以及若干条形凹槽；样品台中心设有中心孔，以及以中心孔为中心对称分布的若干通孔；各通孔与一条形凹槽一端对接，条形凹槽另一端朝远离所述中心孔方向伸出并与环形凹槽对接；样品台正面设有定位线，定位线与样品台设有定位钉孔的边侧平行。本实用新型样品台可以对直径大于20mm的片子进行曝光，无需将小片子用胶粘到大片子上，改善了以前激光直写仪无法对小尺寸样品进行曝光的缺陷；此外，本实用新型通过引入定位线，保证了多层曝光的精度，可以很方便的对小片子进行多次曝光。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 较小 片子 进行 操作 样品 平台 | ||
【主权项】：
一种曝光机对较小片子进行操作的样品平台，其特征在于，所述样品台为包括光滑正、反两相对面的方形玻璃片，所述样品台一边侧设有定位钉孔，且所述样品台反面设有环形凹槽以及若干条形凹槽；所述样品台中心设有中心孔，以及以所述中心孔为中心对称分布的若干通孔；各所述通孔与一条形凹槽一端对接，所述条形凹槽另一端朝远离所述中心孔方向伸出并与环形凹槽对接；所述样品台正面设有定位线，所述定位线与样品台设有定位钉孔的边侧平行。
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