[实用新型]用于外延反应器的反应室的顶部倾斜部件、反应室和外延反应器有效
| 申请号： | 201520417640.2 | 申请日： | 2015-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN204874819U | 公开（公告）日： | 2015-12-16 |
| 发明（设计）人： | 温琴佐·奥格里亚里;弗朗西斯科·科里亚;马里奥·普雷蒂;弗兰科·乔瓦尼·普雷蒂 | 申请（专利权）人： | LPE公司 |
| 主分类号： | C30B25/08 | 分类号： | C30B25/08 |
| 代理公司： | 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司 11514 | 代理人： | 刘谦 |
| 地址： | 意大利米*** | 国省代码： | 意大利;IT |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本专利涉及位于外延反应器的石英反应室(1)内部的部件(3)、用于外延反应器的反应室和外延反应器，该部件包括具有正面、背面和两个侧面的水平石英板(30)以及分别在两个侧面处的两个垂直石英壁(31、32)；所述板的前部和/或后部弯曲。用于外延反应器的反应室和外延反应器均包括该部件。优点是：该部件可以改进部件的气流和温度性能。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 外延 反应器 反应 顶部 倾斜 部件 | ||
【主权项】：
一种位于外延反应器的石英反应室(1)内部的部件(3)，包括具有正面、背面和两个侧面的水平石英板(30)以及分别在所述两个侧面处的两个垂直石英壁(31、32)；其中，所述板的前部和/或后部弯曲。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于LPE公司，未经LPE公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201520417640.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：多晶硅铸锭炉高效率加热器
- 下一篇：一种连续电镀传动系统
