[实用新型]一种光刻胶吹涂装置

摘要

本实用新型提供了一种光刻胶吹涂装置。所述装置包括两套二维直线驱动机组、水平方向直线运动轴、垂直方向直线运动轴，还包括旋转电机、挤胶机构、滴胶器、偏转电机、压缩空气喷嘴、空压机组、溶胶池。其中一套二维直线驱动机组驱动水平和垂直方向的运动轴，使滴胶器位于工件上方，旋转电机驱动挤胶机构向工件表面滴胶，另一套二维直线驱动机组采用相同方法驱动压缩空气喷嘴至工件上方，开启空压机组向胶层表面吹送压缩空气，通过偏转电机转动压缩空气喷嘴调整气流方向，通过减压阀调节出口压力。本实用新型的装置适用于向工件表面滴光刻胶，以及通过吹送压缩空气进行胶层厚度控制。本实用新型能够实现平面、复杂曲面的光刻胶涂覆，功能强、应用范围广。

主权项

一种光刻胶吹涂装置，其特征在于，所述的装置含有滴胶平台二维直线驱动机组（1）、滴胶平台水平方向直线运动轴（2）、滴胶平台垂直方向直线运动轴（3）、旋转电机（4）、挤胶机构、滴胶器（6）、吹气平台二维直线驱动机组（7）、吹气平台水平方向直线运动轴（8）、吹气平台垂直方向直线运动轴（9）、气管（10）、减压阀（11）、压缩空气喷嘴（12）、偏转电机（13）、空压机组（14）、容胶池（15）、底座（16），其中，挤胶机构包括拉杆（5）、应变片（17）；其连接关系是，所述的底座（16）外形为凹状，底座（16）两方凸出的部分对称设置；底座（16）凸出的一方依次设置有与底座（16）底面平行的滴胶平台水平方向直线运动轴（2）、滴胶平台垂直方向直线运动轴（3），所述的滴胶平台水平方向直线运动轴（2）、滴胶平台垂直方向直线运动轴（3）外侧与滴胶平台二维直线驱动机组（1）连接，滴胶平台水平方向直线运动轴（2）的中心轴设置有拉杆（5），拉杆（5）的顶端连接有应变片（17），滴胶器（6）嵌入在滴胶平台水平方向直线运动轴（2）的内侧端头；在滴胶平台水平方向直线运动轴（2）上设置有用于驱动拉杆（5）的旋转电机（4）；底座（16）凸出的另一方依次设置有与底座（16）底面平行的吹气平台水平方向直线运动轴（8）、吹气平台垂直方向直线运动轴（9），吹气平台水平方向直线运动轴（8）、吹气平台垂直方向直线运动轴（9）的外侧与吹气平台二维直线驱动机组（7）连接，吹气平台水平方向直线运动轴（8）的内侧端头设有压缩空气喷嘴（12），压缩空气喷嘴（12）的上方与偏转电机（13）固定连接，下方设置有减压阀（11）；所述的吹气平台水平方向直线运动轴（8）与滴胶平台水平方向直线运动轴（2）对应设置，端头相对；所述的空压机组（14）设置在底座（16）内，空压机组（14）通过气管（10）与压缩空气喷嘴（12）连接；在底座（16）的凹处设置有容胶池（15），容胶池（15）为“W”型结构，容胶池（15）中心设置有用于安装工件（18）的凸起部分，容胶池（15）内四周设置有用于收集散落光刻胶的凹陷处。