[实用新型]用于PCB菲林片检测的AOI装置有效
申请号: | 201520398115.0 | 申请日: | 2015-06-10 |
公开(公告)号: | CN204790307U | 公开(公告)日: | 2015-11-18 |
发明(设计)人: | 郭联金;罗炳军;左大利;范四立;彭志伟;劳敬东 | 申请(专利权)人: | 东莞职业技术学院 |
主分类号: | G03F1/84 | 分类号: | G03F1/84 |
代理公司: | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人: | 周详 |
地址: | 523808 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种用于PCB菲林片检测的AOI装置,涉及自动光学检测设备技术领域。装置包括机柜、负压产生平台、图像采集装置、图像采集装置驱动机构以及计算机,所述负压产生平台位于所述机柜上,用于在计算机的控制下产生吸附PCB菲林片的负压,所述图像采集装置通过所述图像采集装置驱动机构连接在所述负压产生平台上,用于在计算机的控制下对PCB菲林片进行图像采集。所述装置具有结构简单、质量轻、检测精准及效率高的特点。 | ||
搜索关键词: | 用于 pcb 菲林片 检测 aoi 装置 | ||
【主权项】:
一种用于PCB菲林片检测的AOI装置,其特征在于:所述装置包括机柜(5)、负压产生平台、图像采集装置、图像采集装置驱动机构以及计算机(3),所述负压产生平台位于所述机柜(5)上,用于在计算机(3)的控制下产生吸附PCB菲林片的负压,所述图像采集装置通过所述图像采集装置驱动机构连接在所述负压产生平台上,用于在计算机(3)的控制下对PCB菲林片进行图像采集。
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G03 摄影术;电影术;利用了光波以外其他波的类似技术;电记录术;全息摄影术
G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
G03F1-26 .相移掩膜[PSM];PSM空白;其制备
G03F1-36 .具有临近校正特征的掩膜;其制备,例如光学临近校正(OPC)设计工艺
G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备
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