[实用新型]钻孔系统有效
| 申请号： | 201520389422.2 | 申请日： | 2015-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN205085738U | 公开（公告）日： | 2016-03-16 |
| 发明（设计）人： | B·S·赖特 | 申请（专利权）人： | 是德科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B23Q17/22 | 分类号： | B23Q17/22 |
| 代理公司： | 北京市嘉元知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11484 | 代理人： | 刘彬 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种钻孔系统(10)配置为检测在内置有测试试件(112)的多层衬底(110)的中间层(255)中的埋入式目标件(257)的深度，所述测试试件(112)包括在相对各端处具有探针位点(117)的迹线，所述系统包括：钻孔器，配置为钻孔通过所述多层衬底(110)内的所述测试试件(112)的迹线；连续性测量计(140)，配置为在所述钻孔器进行钻孔期间监控所述测试试件(112)；控制器(130)，配置为响应于所述连续性测量计(140)来确定所述埋入式目标件(257)的深度。 | ||
| 搜索关键词： | 钻孔 系统 | ||
【主权项】：
一种钻孔系统(10)，配置为检测在内置有测试试件(112)的多层衬底(110)的中间层(255)中的埋入式目标件(257)的深度，所述测试试件(112)包括在相对各端处具有探针位点(117)的迹线，所述系统包括：钻孔器，配置为钻孔通过所述多层衬底(110)内的所述测试试件(112)的迹线；连续性测量计(140)，配置为在所述钻孔器进行钻孔期间监控所述测试试件(112)；以及控制器(130)，配置为响应于所述连续性测量计(140)来确定所述埋入式目标件(257)的深度。
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