[实用新型]调整蒸镀偏位的装置有效
| 申请号： | 201520384974.4 | 申请日： | 2015-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN204714884U | 公开（公告）日： | 2015-10-21 |
| 发明（设计）人： | 李伟丽;朱修剑 | 申请（专利权）人： | 昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种调整蒸镀偏位的装置，包括基板、掩膜板和CCD镜头，其中，所述基板上设置有第一TEG，所述第一TEG包括多个结构相同的第一矩形框，所述多个第一矩形框沿横向和纵向间隔分布，形成矩阵结构；所述掩膜板上设置有第二TEG，所述第二TEG包括至少一个第二矩形框，所述掩膜板与所述基板对准后，所述第二矩形框与所述第一TEG中的预设区域相对应；所述CCD镜头用于观察蒸镀偏位，并设置在蒸镀腔室中。本实用新型能够在不把蒸镀后的基板拿出蒸镀腔室的情况下，直观得出蒸镀偏差，并可以快速的调整蒸镀偏位，提高了生产效率及产品的良率；并可实现基板的重复利用，大大降低了材料成本。 | ||
| 搜索关键词： | 调整 蒸镀偏位 装置 | ||
【主权项】：
一种调整蒸镀偏位的装置，其特征在于，包括基板，所述基板上设置有第一TEG，所述第一TEG包括多个结构相同的第一矩形框，所述多个第一矩形框沿横向和纵向间隔分布，形成矩阵结构；掩膜板，所述掩膜板上设置有第二TEG，所述第二TEG包括至少一个第二矩形框，所述掩膜板与所述基板对准后，所述第二矩形框与所述第一TEG中的预设区域相对应；以及用于观察蒸镀偏位的CCD镜头，所述CCD镜头设置在蒸镀腔室中。
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