[实用新型]一种激光超声检测装置

摘要

本实用新型涉及一种激光超声检测装置，该装置包括Nd：YAG激光器，由Nd：YAG激光器发出的光束照射到分光镜，其中，一路光束经过凸透镜L2调焦后照射到被检测的工件上，同时，He-Ne激光器放射光束到被检测的工件上，共焦法布里—珀罗干涉仪接收被检测工件的反射光，反射光束经过凸透镜L3照射到光电二极管2上，光电二极管2转换出的电信号通过前置放大器后输送给示波器；另一路光束经凸透镜L1后照射到光电二极管1上，光电二极管1转换出的电信号输送给示波器。本实用新型利用脉冲激光激发超声波，用连续激光对超声波进行检测，达到对样品进行检测的目的。

主权项

一种激光超声检测装置，其特征在于：该装置包括Nd:YAG激光器，用来激发超声脉冲，由Nd:YAG激光器发出的光束照射到分光镜，分光镜将光束分为两路，一路光束经过凸透镜L2调焦后照射到被检测的工件上，同时，He‑Ne激光器放射光束到被检测的工件上，共焦法布里—珀罗干涉仪接收被检测工件的反射光，经过共焦法布里—珀罗干涉仪的光束经过凸透镜L3调焦后照射到光电二极管2上，经光电二极管2转换出的电信号通过前置放大器的放大后输送给示波器；分光镜分出的另一路光束经凸透镜L1调焦后照射到光电二极管1上，经光电二极管1转换出的电信号输送给示波器。