[实用新型]一种亚波长增透结构的制备装置有效
| 申请号： | 201520334192.X | 申请日： | 2015-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN204934890U | 公开（公告）日： | 2016-01-06 |
| 发明（设计）人： | 秦国双;张杰 | 申请（专利权）人： | 深圳英诺激光科技有限公司;常州英诺激光科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/402 | 分类号： | B23K26/402;B23K26/064 |
| 代理公司： | 深圳市精英专利事务所 44242 | 代理人： | 冯筠 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市南山区科技*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种亚波长增透结构的制备装置，其包括：计算机控制模块，激光器，光学传递组件，振镜组件，聚焦系统组件，以及加工平台；所述的光学传递组件、振镜组件、聚焦系统组件依次沿激光光路排布，由所述计算机控制模块控制激光器，并控制振镜组件和加工平台动作，在待加工件表面制备增透结构。该实用新型亚波长增透结构的制备装置的优点在于：设备简单，工艺简单，无需制备掩膜版，可精确控制亚波长结构尺寸，加工精度小于特征尺寸，制备效率高，一步完成，激光光源可选择效率高、成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 波长 结构 制备 装置 | ||
【主权项】：
一种亚波长增透结构的制备装置，其特征在于，包括：计算机控制模块，激光器，光学传递组件，振镜组件，聚焦系统组件，以及加工平台；所述的光学传递组件、振镜组件、聚焦系统组件依次沿激光光路排布，由所述计算机控制模块控制激光器发射的激光参数，并控制振镜组件和加工平台动作，使激光光束对放置于加工平台上的待加工件表面进行扫描，制备增透结构。
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