[实用新型]磁性靶材装置有效
| 申请号： | 201520313048.8 | 申请日： | 2015-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN204644457U | 公开（公告）日： | 2015-09-16 |
| 发明（设计）人： | 叶崇宇;苏晖家;叶承朋;张倧伟;黄琬瑜;卢木森;黄一原 | 申请（专利权）人： | 凌嘉科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京泰吉知识产权代理有限公司 11355 | 代理人： | 张雅军 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种磁性靶材装置，包含一个由非磁性金属制成的背板，及一个由磁性金属制成的溅镀靶。该溅镀靶包括一个设置于该背板的基底面、一个相反于该基底面的轰击面，及至少一个由该轰击面贯通至该基底面的导磁通道，该基底面至该轰击面的直线距离能定义一个靶材厚度，该导磁通道包括一个由该轰击面朝该背板方向延伸的第一导磁段、一个连通该第一导磁段并与该第一导磁段形成一个第一夹角延伸的第二导磁段，及一个连通该第二导磁段并与该第二导磁段形成一个第二夹角地朝该背板延伸的第三导磁段，该第二导磁段具有一个延伸长度，该延伸长度与该靶材厚度的比值不小于0.3且不大于1。 | ||
| 搜索关键词： | 磁性 装置 | ||
【主权项】：
一种磁性靶材装置，包含：一个背板，由非磁性金属制成；一个溅镀靶，由磁性金属制成并包括一个设置于该背板的基底面、一个相反于该基底面的轰击面，及至少一个由该轰击面贯通至该基底面的导磁通道，该导磁通道具有一个由该轰击面朝该背板方向延伸的第一导磁段、一个连通该第一导磁段并与该第一导磁段形成一个第一夹角延伸的第二导磁段，及一个连通该第二导磁段并与该第二导磁段形成一个第二夹角地朝该背板延伸的第三导磁段；其特征在于：该基底面至该轰击面的直线距离能定义一个靶材厚度，该第二导磁段具有一个延伸长度，该延伸长度与该靶材厚度的比值不小于0.3且不大于1，该第一夹角及该第二夹角均大于0°且小于180°。
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