[实用新型]模块化的等离子体处理装置

摘要

本实用新型公开了一种模块化的等离子体处理装置，其设置于真空腔体内，其包含多个等离子体模块、上基载具及下基载具。每个等离子体模块包含上可拆卸件与下可拆卸件，且每个等离子体模块具备一个功能，这些功能彼此相异。上基载具包含载座，上基载具连接真空腔体，且上可拆卸件能够依据其中一个功能连接载座。下基载具包含外罩，下基载具连接真空腔体且对应于上基载具，下可拆卸件能够依据其中一个功能连接外罩。此外，这些等离子体模块能够依据功能变换而彼此置换。借此，通过置换不同功能的等离子体模块来实现共用单一载具及多重功能，可发挥等离子体清洁、等离子体蚀刻、PVD镀膜或CVD镀膜功能。

主权项

一种模块化的等离子体处理装置，其设置于真空腔体内，其特征在于，所述模块化的等离子体处理装置包含：多个等离子体模块，每个所述等离子体模块包含上可拆卸件与下可拆卸件，且每个所述等离子体模块具备一个功能，这些功能彼此相异；上基载具，其包含载座，所述上基载具连接所述真空腔体，且任一所述上可拆卸件能够依据其中一个所述功能连接所述载座；以及下基载具，其包含外罩，所述下基载具连接所述真空腔体且对应于所述上基载具，任一所述下可拆卸件能够依据其中一个所述功能连接所述外罩；其中，所述多个等离子体模块能够依据所述功能的变换而彼此置换。