[实用新型]固定装置

摘要

本实用新型属于半导体制作技术领域，尤其涉及一种固定装置。一种固定装置，应用于电极的安装，包括第一电极、以及与所述第一电极相匹配的第二电极，其中，包括基座上的90°V型凹槽，用以固定所述第二电极，承载台用以放置所述第一电极，于所述基座与所述承载台之间的距离最小时，将所述第一电极与所述第二电极通过一连接装置连接。采用90°V型凹槽定位。仅仅需要操作人员单独操作即可完成安装工艺，安装效率高，且第一圆心与第二圆心之间的匹配准确率较高，安装过程中产生的偏差较小，不会造成因圆心未对准发生边缘溢出的现象，安装后的产成品率高。

主权项

一种固定装置，应用于电极的安装，包括第一电极以及与所述第一电极相匹配的第二电极，其特征在于，包括：基座，于所述基座上设置有一具有预定角度的V型槽凸起，所述V型槽凸起用以固定所述第二电极；支撑装置；于垂直方向可移动承载台，所述承载台通过所述支撑装置连接所述基座，所述承载台中心设置有一用以放置所述第一电极的空心圆，并于所述空心圆的底部设置有一固定所述第一电极的固定装置；调节装置，设置于所述支撑装置上，用以调节所述承载台与所述基座之间的距离，于所述基座与所述承载台之间的距离最小时，将所述第一电极与所述第二电极通过一连接装置连接。