[实用新型]基于径向偏振光的飞秒激光加工装置

摘要

基于径向偏振光的飞秒激光加工装置，涉及光电技术领域。目的在于能够实现对材料的高精度、高效率、高纵深比加工。基于径向偏振光的飞秒激光加工装置包括飞秒激光器、光阑、衰减片、第一800nm全反射平面镜、偏振转换器、快门、第二800nm全反射平面镜、显微镜和载物台，所述飞秒激光器发出的飞秒激光光束经光阑入射至衰减片，衰减片对该激光光束进行光强衰减后经第一800nm全反射平面镜全反射至偏振转换器，偏振转换器将飞秒激光光束转换为径向偏振光束，并将该径向偏振光束经快门发射至第二800nm全反射平面镜，第二800nm全反射平面镜将径向偏振光束全反射至显微镜的物镜，并通过显微镜的物镜聚焦照射到载物台上。本实用新型适用于对材料实现高精度加工。

主权项

基于径向偏振光的飞秒激光加工装置，其特征在于，它包括飞秒激光器(1)、光阑(2)、衰减片(3)、第一800nm全反射平面镜(4)、偏振转换器(5)、快门(6)、第二800nm全反射平面镜(7)、显微镜(8)和载物台(9)，所述飞秒激光器(1)发出的飞秒激光光束经光阑(2)入射至衰减片(3)，衰减片(3)对该激光光束进行光强衰减后经第一800nm全反射平面镜(4)全反射至偏振转换器(5)，偏振转换器(5)将飞秒激光光束转换为径向偏振光束，并将该径向偏振光束经快门(6)发射至第二800nm全反射平面镜(7)，第二800nm全反射平面镜(7)将径向偏振光束全反射至显微镜(8)的物镜，并通过显微镜(8)的物镜聚焦照射到载物台(9)上，所述衰减片(3)为可调衰减片。