[实用新型]一种基于石英衬底的硅片蘸取装置有效
申请号: | 201520213311.6 | 申请日: | 2015-04-09 |
公开(公告)号: | CN204570086U | 公开(公告)日: | 2015-08-19 |
发明(设计)人: | 高文秀;李帅;赵百通 | 申请(专利权)人: | 江苏盎华光伏工程技术研究中心有限公司 |
主分类号: | C30B28/04 | 分类号: | C30B28/04;C30B29/06 |
代理公司: | 上海科律专利代理事务所(特殊普通合伙) 31290 | 代理人: | 金碎平;袁亚军 |
地址: | 214213 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种基于石英衬底的硅片蘸取装置,包括炉体,所述炉体内设有用于盛放硅液的石英坩埚,所述石英坩埚的外侧周围设有加热器,所述石英坩埚的上方设有石英衬底,所述石英衬底和吊装杆相连,所述石英坩埚和加热器之间设有热屏,所述热屏通过连接板和石英衬底连接,所述加热器的横截断面为圆形,所述石英衬底和热屏的横截断面为六边形。本实用新型通过在石英坩埚和加热器之间设置热屏,可有效减少硅液面的热辐射;采用与圆形热场匹配的六边形石英衬底及六边形热屏结构,热场均匀性好,利用率高,从而能够大大减小硅材料的浪费,同时减少单个硅片的能耗,并且生产出的六边形硅片制作成的太阳能电池可实现密排组件。 | ||
搜索关键词: | 一种 基于 石英 衬底 硅片 装置 | ||
【主权项】:
一种基于石英衬底的硅片蘸取装置,包括炉体(10),所述炉体(10)内设有用于盛放硅液(6)的石英坩埚(7),所述石英坩埚(7)的外侧周围设有加热器(4),所述石英坩埚(7)的上方设有石英衬底(9),所述石英衬底(9)和吊装杆(1)相连,其特征在于,所述石英坩埚(7)和加热器(4)之间设有热屏(3),所述热屏(3)通过连接板(2)和石英衬底(9)连接,所述加热器(4)的横截断面为圆形,所述石英衬底(9)和热屏(3)的横截断面为六边形。
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