[实用新型]外延片取片器有效
| 申请号： | 201520201121.2 | 申请日： | 2015-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN204589371U | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 楼琦江 | 申请（专利权）人： | 上海晶盟硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C30B23/02;H01L21/683 |
| 代理公司： | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 201707 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种外延片取片器，包括吸盘，所述的吸盘上具有容腔，所述的容腔具有开口，所述的容腔内开设有至少一个第一气孔，所述吸盘拿取外延片时容腔开口边缘贴靠在外延片上，且外延片密封容腔，所述的容腔开口边缘尺寸大于外延片且均覆盖外延片。本实用新型吸盘边缘均覆盖外延片且尺寸大于外延片，拿取时覆盖外延片四周，边缘较硬的部分不会接触外延片，保证了外延片不会受伤害。 | ||
| 搜索关键词： | 外延 片取片器 | ||
【主权项】：
外延片取片器，其特征在于，包括吸盘，所述的吸盘上具有容腔，所述的容腔具有开口，所述的容腔内开设有至少一个第一气孔，所述吸盘拿取外延片时容腔开口边缘贴靠在外延片上，且外延片密封容腔，所述的容腔开口边缘尺寸大于外延片且均覆盖外延片。
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