[实用新型]一种基于微环和阵列波导光栅的片上光谱仪有效
| 申请号： | 201520200485.9 | 申请日： | 2015-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN204594579U | 公开（公告）日： | 2015-08-26 |
| 发明（设计）人： | 郎婷婷;卞继城;孔文;俞文杰 | 申请（专利权）人： | 中国计量学院 |
| 主分类号： | G01J3/28 | 分类号： | G01J3/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 310018 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种基于微环和阵列波导光栅的片上光谱仪。与普通光谱仪相比，所述的片上光谱仪是由微环谐振器、阵列波导光栅以及光电探测器阵列构成，由光源或是待测目标物发出的待测光谱首先从微环谐振器的输入端输入，经过微环谐振器的传输后在下载端输出时变为梳状光谱，之后由阵列波导光栅的输入波导输入，经过阵列波导光栅的传输后不同波长信号从阵列波导光栅的相应输出波导输出，完成不同波长信号的分离，最后由光电探测器阵列同时接收各个波长信号，进行强度测定，从而实现光谱测定的功能。所述微环谐振器、阵列波导光栅及光电探测器阵列都可以采用半导体工艺集成在同一片硅片上。该片上光谱仪具有波长分辨率高、工作波长范围宽、集成度高、小型化可便携、结构简单等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 阵列 波导 光栅 光谱仪 | ||
【主权项】：
一种基于微环和阵列波导光栅的片上光谱仪，其特征是：在集成的硅片(8)上由光源或是待测目标物发出的待测光谱首先从微环谐振器(2)的输入端(1)输入，经过微环谐振器(2)的传输后在下载端(3)输出时变为梳状光谱，之后由阵列波导光栅(5)的输入波导(4)输入，经过阵列波导光栅(5)的传输后不同波长信号从相应的输出波导(6)输出，完成不同波长信号的分离，最后由光电探测器阵列(7)同时接收各个波长信号，进行强度测定，从而实现光谱测定的功能。
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